第969章 5nm工艺试生產（1 / 3）

  “分內的事。”李家辉笑了笑，又看了一下旁边的袁国庆，“数据我都带来了，50%的验证良品率，已经摸到大规模量產的门槛了。

  今天流完片，就能知道实际量產水平到底怎么样。”

  “是的，沈总，绝对能达到！”

  说完两人又对视了一眼，毕竟5%10只是他们两人估测的最差成绩，结果可能要远超预期。

  一行人，正在往前走。

  厂区里比上次来时更热闹，新的生產线厂房正在收尾，设备正在紧急安装中。

  毕竟等5nm工艺彻底跑通，这条线就要全速扩產。

  至於7nm，必须要用国產设备顶上去，毕竟7nm依旧是先进水平，不能少。

  换无尘服，风淋室除尘，一套流程走完，三人站在了晶圆生產车间的玻璃外。

  车间里，机器臂正在运检

  “这次是首批量產流片，一共投了二十片晶圆。”袁国庆指著里面的投料口，“工艺参数都是按验证线最优方案调的。

  刻蚀、沉积、光刻三道关键工序，在李教授的带领下，我们前后改了七版参数，才把良率拉上来。”

  沈飞点头，目光落在车间里的设备上。

  整条5nm验证线，从光刻机到刻蚀机，九成以上都是国產设备。

  这里面除了自己的技术突破以外，全部依靠统子。 ↑↑